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上海福赛特机器人有限公司
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半导体行业LED智能设备
PSS晶圆自动倒片机/上片机
全自动:自动上盘、盘寻边、衬底mapping、衬底寻边、Wafer ID读取、自动上片、同步实现自动下片、Wafer ID与盘SN绑定LINK后上传至MES
高精度:晶圆片上下片重复定位精度可达到±0.1mm,±0.15度以内
人性化:成熟先进的自动控制技术,增加智能监控,智能语音提醒,既满足工业生产也兼顾人因工程
高节拍:PSS晶圆自动倒片机248pcs/小时;PSS晶圆自动上片机850盘/天
高品质:良率≧99%
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